实现高分辨率TEM和STEM成像，可以高效率收集能谱信息，可实现高衬度、高信噪比成像。200 kV场发射电镜广泛用于金属材料、陶瓷材料、无机非金属材料和复合材料的微观结构及成分分析。可以进行相应的选区电子衍射，配合特征X射线能谱仪 (EDS) 进行微区元素分析。